1μm Metallfiltermedien für die Reinigung von Prozessgasen in der Halbleiterfertigung --- Waferherstellung mit AMC-Kontrolle

1 μm Metallfilterelement(in Nanoskala)für die Gasreinigung durch Halbleiterverfahren Typ der Ware: Ultrafeine kurze Fasern aus Edelstahl 316L Fiberdurchmesser: 1um/1,5um/2um verfügbar Schnittlänge: 80-100 mm Chemische Zusammensetzung des Rohstoffs ((Wt%)) Elemente C - Ja. In Ni Die - Das ist Mo. S P Standards ≤ 003 ≤ 100 ≤ 2.00 10 bis 14 16 bis 18 2 bis 3 ≤ 003 ≤ 0045 Wert 0.028 0.56 0.5 10.85 16.97 2.1 0.003 0.027 In der Halbleiterherstellung ist die Aufrechterhaltung von Prozessgasen mit ultrahoher Reinheit von entscheidender Bedeutung, um Defekte zu vermeiden und hohe Erträge zu gewährleisten.m Metallfiltermedien spielen eine wichtige Rolle bei der Gasreinigung, indem sie Partikelverunreinigungen entfernen und gleichzeitig zur Bekämpfung der molekularen Luftkontamination (AMC) beitragen.der für die fortgeschrittene Waferherstellung unerlässlich ist. Hauptmerkmale und Vorteile Filtration mit hohem Wirkungsgrad (Retention von 1 μm) Fällt Submikronpartikel ein, die bei Fotolithographie, Ätzung und Ablagerung Defekte verursachen könnten. Reduziert das Risiko einer Kontamination der Oberfläche der Wafer und verbessert den Ertrag. Chemisch träge und korrosionsbeständig Hergestellt aus hochreinem Materialmit einer Breite von nicht mehr als 20 mm,für die Kompatibilität mit aggressiven Gasen (z. B. HF, HCl, NH3). Es widersteht der Ausgasung und verhindert eine weitere Kontamination. AMC-Steuerung Einige fortschrittliche Metallfilter enthaltenOberflächenbehandlungen oder Beschichtungen(z. B. Passivierung, Elektropolieren) zur Minimierung der Adsorption/Desorption flüchtiger organischer Stoffe oder Säuren. Hilft zu treffenSEMI F21 AMC Klasse 1Anforderungen für sensible Verfahren wie die EUV-Lithographie. Hochtemperatur- und Druckbeständigkeit Stabile Leistung unter rauen Bedingungen (bis zu 500 °C oder höher für einige Legierungen). Für:CVD, Diffusion und IonenimplantationGasleitungen. Lange Lebensdauer und Reinigbarkeit Nach der Reinigung (Ultraschall-, chemische oder thermische Methoden) wiederverwendbar, wodurch die Betriebskosten gesenkt werden. Niederdruck-Rückfall-Konstruktion für einen energieeffizienten Gasfluss. Anwendungen in der Halbleiterherstellung Versorgung mit Gas von äußerst hoher Reinheit (UHP)(N2, Ar, H2, O2, usw.) Ätz- und Ablagerungsverfahren(CVD, PVD, ALD) Fotolithographie(AMC-empfindliche EUV/DUV-Umgebungen) Filtration von Schüttgas und Filtration am Verbrauchspunkt (PoU) Warum Metallfilter anstelle von Alternativen? Überlegene HaltbarkeitGegenüber polymeren Filtern (die sich abbauen und Partikel abgeben können). Keine FaserverlustIm Gegensatz zu herkömmlichen HEPA/ULPA-Filtern. Verbesserung der AMC-Minderungim Vergleich zu Standardpartikelfiltern. Konformität und Normen SEMI F20(Partikelkontrolle) SEMI F21(AMC-Klassifizierung) ISO 14644-1(Reinigungsstandards) Schlussfolgerung 1 μm Metallfiltermedienist eine robuste Lösung für die Halbleitergasreinigung, diePartikelfiltration, AMC-Kontrolle und chemische ResistenzUm den hohen Anforderungen der hochentwickelten Waferferfertigung gerecht zu werden.